در این مقاله تحلیل موجب کامل الکترومغناطیسی سوئیچ میکروالکترومکانیکی در فرکانسهای مایکروویو و امواج میلیمتری ارائه می شود. با حل معادله موج هلمهولتز با روش عناصر محدود (FEM) و با استفاده از شبیه ساز HFSS میدانها را بدست می آوریم. ساختار سوئیچ را بعنوان دو قطبی فرض کرده و پارامترهای پراکندگی (S) را از میدانهای بدست آمده استخراج می کنیم. مشخصات و کمیتهای توصیف کننده سوئیچ از جمله تلفات داخلی در حالت روشن درمحدوده dB 22/1- 02/0 وایزولاسیون در حالت خاموش dB 60-14 در محدوده فرکانسی GHz 60-1 بدست می آید. همچنین سوئیچ MEMS را بعنوان یک خازن در نظر گرفته و با مدل عناصر فشرده تقریب می زنیم. با استفاده از روابط ماتریس پراکندگی و ماتریس انتقال عملکرد سوئیچ محاسبه و نتایج را با تحلیل کامل مقایسه می کنیم در نهایت پارامترهای S برای ابعاد و فرکانسهای مختلف مشخص می شود. این پارامترها در طراحی کامپیوتری مدارات (CAD) فرکانس بالا اهمیت اساسی دارد.